鉴微半导体获长三角国创中心拨投结合项目支持 公司落户南京江北新区
2025年9月,鉴微半导体与 长三角国家技术创新中心(以下简称“长三角国创中心”) 达成合作协议,获得“拨投结合”项目数千万元人民币资金支持。 本次“拨投结合”项目聚焦鉴微半导体过程检测设备以及终检设备的量产进程, 将为化合物半导体检测装备的国产化和规模化落地提供重要助力。
- 获得长三角国创中心“拨投结合”项目数千万元资金支持;
- 项目聚焦过程检测及终检设备量产,加速国产检测装备规模化应用;
- 公司落户南京江北新区顶山街道,更名为“鉴微半导体设备(南京)有限公司”;
- 长三角国创中心及江北新区相关机构以股权方式参与投资;
- 在南京打造化合物半导体检测装备产业化基地,服务第三代半导体产业链。
“拨投结合”赋能量产进程 助力国产化和规模化落地
根据项目协议约定,本次“拨投结合”项目将重点支持鉴微半导体 过程检测设备以及 终检设备的量产进程, 通过“拨款+投资”的联动机制,为核心产品从工程样机走向批量交付提供持续、稳定的资金保障。
一方面,项目资金将用于关键技术的持续研发和产线能力建设, 确保设备在检测性能、稳定性和可维护性方面持续优化; 另一方面,通过与产业资本、区域政策的深度联动, 加速化合物半导体检测装备在国内头部客户中的导入与复制, 推动相关装备的国产化替代与规模化落地。
落户南京江北新区 打造产业化基地
根据项目约定,鉴微半导体将落户 南京江北新区顶山街道,公司更名为 鉴微半导体设备(南京)有限公司。 江苏省产业研究院有限公司和南京扬子江新兴产业投资有限公司分别代表长三角国创中心和南京江北新区, 以股权形式参与投资,共同支持鉴微半导体在南京打造化合物半导体检测装备产业化基地。
此次落户,将进一步强化鉴微半导体在长三角区域的产业协同能力: 一方面,依托江北新区在第三代半导体、集成电路等领域的产业集群优势, 有利于公司深入贴近客户应用场景,快速响应工艺变化与产线需求; 另一方面,通过与园区内晶圆制造企业、装备企业及科研院所的协同合作, 将推动更多联合攻关与示范产线项目的落地。
完整技术布局 覆盖 SiC / GaN 全流程检测
在技术布局方面,鉴微半导体围绕 SiC / GaN 等化合物半导体材料, 从晶圆生长、外延、制程到终检等环节持续深耕, 形成了覆盖膜厚量测、过程缺陷检测、终检缺陷检测等关键环节的产品矩阵。
依托自研的光学检测平台与智能算法能力,鉴微半导体的产品能够适配多种工艺节点与制程场景, 覆盖从研发验证到量产导入的不同阶段,帮助客户实现良率提升、成本控制和质量追溯等核心目标。
持续加大研发投入 推动设备从“可用”走向“好用、好量产”
未来,鉴微半导体将结合本次“拨投结合”项目的支持, 持续加大在光学探测、智能算法、系统集成等方向的研发投入:
一方面,在算法层面引入更多基于深度学习与大数据建模的智能检测能力, 提升复杂缺陷场景下的检出准确性与稳定性; 另一方面,在系统架构与模块化设计上持续优化, 进一步提升设备在量产环境下的可维护性、可扩展性和总体拥有成本优势, 推动更多国产检测装备从“可用”走向“好用、好量产”。
依托江北新区产业协同 深化产业链合作
落户南京江北新区后,鉴微半导体将与园区内的 晶圆制造企业、装备企业及科研院所 建立更紧密的合作关系,围绕工艺验证、联合攻关、示范产线建设等方向开展深度合作。
通过在真实产线环境中的联合测试与验证,双方将共同探索面向第三代半导体的新型检测方案和质量控制体系, 为区域产业链提供更加完善的检测与质量控制解决方案, 助力江北新区打造具有国际影响力的第三代半导体产业高地。
长三角国家技术创新中心简介
长三角国家技术创新中心(长三角国创中心) 是贯彻落实中央指示精神、服务长三角一体化发展战略的重要举措, 由科技部批准,由上海长三角技术创新研究院为主体, 联合浙江、江苏、安徽等地相关机构共同组建的综合类国家技术创新中心, 于2021年6月3日正式揭牌成立。
长三角国创中心立足从科学到技术的转化, 将国家战略部署与长三角区域创新需求有机结合, 以推动重大领域关键核心技术攻关为核心使命, 通过产学研协同推动科技成果向产业化转移转化, 为长三角区域产业发展提供源头技术供给与转化服务, 为科创中小微企业孵化、培育和发展提供创新服务平台。
面向未来 携手推动第三代半导体产业高质量发展
未来,鉴微半导体将以本次“拨投结合”项目和 南京江北新区产业化基地建设为新起点, 持续深耕化合物半导体检测领域, 与产业链上下游伙伴携手, 共同推动第三代半导体产业的高质量发展, 为我国半导体产业自主可控和全球竞争力提升贡献更多“鉴微力量”。

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