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FOCUS ON SiC / GaN SEMICONDUCTOR INSPECTION & METROLOGY

鉴微半导体 |化合物半导体量检测解决方案提供商

覆盖 SiC / GaN 等化合物半导体,从衬底、外延到器件生产加工全流程, 为晶圆制造提供一站式检测平台与算法能力,助力客户实现高良率与稳定量产。

多系列半导体检测设备,满足不同工艺需求

覆盖 SiC/GaN 等化合物半导体,从衬底、外延为晶圆制造提供一站式检测方案

过程检测设备 MSP 系列
PROCESS · MSP
过程检测设备 · MSP 系列
覆盖碳化硅衬底与外延生产过程的宏观缺陷检测
面向关键工艺段提供在线 / 离线检测能力,聚焦表面缺陷、颗粒和形貌异常, 帮助工艺工程师及时发现问题、优化制程参数。
终检设备 MI 系列
FINAL · MI
终检设备 · MI 系列
面向碳化硅衬底外延器件产线的高精度缺陷检测平台
集成多模态光学路径与深度学习算法,支持批量晶圆的全自动扫描、 缺陷分类与报表输出,在保证检测灵敏度的同时兼顾产线节拍。
膜厚测量设备 Hawking 系列
THICKNESS · HAWKING
膜厚测量设备 · Hawking 系列
面向半导体生产工艺中的关键节点提供高精度膜厚量测能力
支持 SiC / GaN / Si 等多种衬底与介质薄膜, 提供纳米级膜厚控制能力,为成膜、退火与终检等环节提供可靠的工艺监控数据。

为什么选择鉴微

WHY UINSPECT SEMICONDUCTOR

聚焦化合物半导体缺陷检测

MSP 过程检、MI 终检系列产品,兼顾高通量、高精度检测需求,覆盖 SiC / GaN 等化合物半导体衬底、外延、器件等关键工艺,针对 6–12 英寸产线场景深度优化算法和设备配置,帮助客户提升生产良率。

AI驱动检测算法与数据平台

鉴微自研缺陷检测、分类算法,综合规则引擎与统计分析能力,打通从图像数据到良率指标的完整闭环,实现检测结果的可追溯、可量化,并支持方案的快速上线与持续迭代优化。

核心元器件设计与研发能力

围绕光学系统、运动控制与成像链等关键元器件开展自主设计与迭代,将稳定性、精度与可靠性内生到整机方案之中。

工程团队深耕一线产线

核心团队来自国际头部检测厂商,在国内多条产线完成装机与导入验证,了解设备与工艺,缩短 Ramp-up 周期。

0 %+ 客户复购率
0 x24 小时远程响应 & 本地工程支持
0 + 终检 / 过程检测设备装机经验

阅读鉴微观察,洞察半导体检测前沿

聚焦化合物半导体检测工艺、产业趋势与技术实践,为您的设备投资提供前瞻参考

“让每一个缺陷都看得更清楚”

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终检设备 · MI 系列

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