半导体量检测：检测类型、市场空间与国产化进展

在现代半导体制造体系中，量检测（Metrology & Inspection） 是连接工艺、设备与良率的关键环节。它贯穿前道晶圆加工、后道封测以及失效分析全流程， 通过对关键尺寸、形貌、缺陷和材料特性的量化测量，为工艺优化和质量管控提供依据。